达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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SPR-8501S
   詳細介紹
4軸圓柱坐標型
SPR-8501S的特點
1 采用了AC伺服馬達以及最適合的加減速控制,實現高精度、高速搬運。
2 采用高剛性手臂,可以對應mask搬運等,也可以對應重物的搬運。
3 即使是長行程型的手臂,也可以實現高水平精度。
   參數詳解 ※1

機器人形狀  4軸圓柱坐標型
重量  1100kg
可搬重量(含endeffector·holder) X1  50kg以下
X2  50kg以下
動作範圍 X軸  2621.4mm
θ  330deg.
Z  100mm
手臂長  760mm
動作時間          
(不含通信時間)
X軸  2.2sec./2621.4mm
θ  2.6sec./180deg.
Z  1.2sec./100mm
手臂水平精度(下垂)  P-P 12mm以下(安装holder,从法兰盘开始1800mm的位置)
手臂軌迹精度(蛇行)  ±8mm以下(安裝holder,從法蘭盤開始1800mm的位置)
重複位置精度  XYZ方向:±0.5mm以下(安裝holder,從法蘭盤開始1800mm的位置)
清潔度  ISO Class 4
耐真空度  1.3×10-5Pa
周圍溫度  真空側::15℃~80℃   大氣側:15℃~35℃
耐振動  4.9m/sec.²以內(0.5G以下)

面板搬運機械手(真空)
可搬重量 LCD尺寸 Single Arm Dual Arm
无Z軸 有Z軸 Link Slide
3kg G3SPR-801S SPR-804S    
10kg G4SPR-806S      
15kg G4.5SPR-811S SPR-8110 pdf    
50kg G5   SPR-8109 pdf SPR-8501S  
G6     SPR-8522 pdf  
70kg G6    SPR-8508  
100kg G7   SPR-8111 pdf    
150kg G6 SPR-8112 pdf  SPR-8504  
G6       SPR-8537 pdf
G7.5      SPR-8535
200kg G8.5       SPR-8534 pdf
300kg       SPR-8524 pdf
500kg G10        

(有生産實際)

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