达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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SPR-8504
   詳細介紹
4軸圓柱坐標型
SPR-8504的特點
1 采用AC伺服馬達以及最適合的加減速控制,實現高精度、高速搬運。
2 通過采用磁流體密封,可以適應高真空環境。
3 采用高剛性手臂,可以對應mask搬運等,也可以對應重物的搬運。
   參數詳解 ※1

機器人形狀

 4軸圓柱坐標型

重量

 3000kg

可搬質量              
(含endeffector·holder

X1

 153kg以下

X2

 153kg以下

動作範圍

X

 3046.7mm

θ

 330deg.

Z

 150mm

手臂長

 920mm

動作時間       
(不含通信時間)

X

 4.0sec./3046.7mm

θ

 3.2sec./180deg.

Z

 2.3sec./150mm

手臂水平精度(下垂)

 P-P 32mm以下(安裝holder,從法蘭盤開始1800mm的位置)

手臂軌迹精度(蛇行)

 ±16mm以下(安裝holder,從法蘭盤開始1800mm的位置)

重複位置精度

 XYZ方向:±0.5mm以下(安裝holder,從法蘭盤開始1800mm的位置)

清潔度

 ISO Class 4

耐真空度

 1.3×10-6Pa

周圍溫度

真空側::15℃~80   大氣側:15℃~35

耐振動

 4.9m/sec.²以內(0.5G以下)

面板搬運機械手(真空)
可搬重量 LCD尺寸 Single Arm Dual Arm
无Z軸 有Z軸 Link Slide
3kg G3SPR-801S SPR-804S    
10kg G4SPR-806S      
15kg G4.5SPR-811S SPR-8110 pdf    
50kg G5   SPR-8109 pdf SPR-8501S  
G6     SPR-8522 pdf  
70kg G6    SPR-8508  
100kg G7   SPR-8111 pdf    
150kg G6 SPR-8112 pdf  SPR-8504  
G6       SPR-8537 pdf
G7.5      SPR-8535
200kg G8.5       SPR-8534 pdf
300kg       SPR-8524 pdf
500kg G10        

(有生産實際)

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