达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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UTV-R2700H
   詳細介紹
2(3)軸圓柱坐標型
UTV-R2700H系列的特點
1 使用AC伺服馬達,高精度,高速度。
2 緊湊型,小體積。
3 符合RoHs指令規定。
   參數詳解 ※1
形號  UTV-R2700(H)  UTV-R2730(H)  UTV-R2750(H)
機器人形狀  2(3)軸圓柱坐標型
動作範圍 X軸  下手臂動作角度120deg.
 510mm  660mm  720mm
θ  340deg.
Z軸  20mm
動作速度(MAX) X  下手臂動作角度421.92deg./sec.
 2504mm/sec.  3241mm/sec.  3535mm/sec.
θ  200deg/sec.
Z軸  (121mm/sec.)
動作循環時間※1 X  1.2sec.
θ  2.4sec.
Z軸  1.0sec.
分解力 X軸  下手臂動作角度0.001deg./pulse
0.0060mm/pulse以下  0.0077mm/pulse以下  0.0084mm/pulse以下
θ  0.001deg./pulse
Z軸  0.001mm/pulse
重複位置精度※2  ±0.1mm
清潔度  ISO Class 3 (ISO-14644)
動作壓力範圍  大氣壓~10-6 pa
可搬運重量(包含手臂)  0.7kg
周圍溫度  真空側:0℃~80℃  /大氣側:0℃~40℃
自重 29kg(35kg)
1 各軸整体冲程所要时间。(是通过计算的理论值,不是保证值。)

2 20次的定位精度。包含lostmotion。(lostmotion:在任意一点上向正负方向定位时停止位置的差)
                晶圓搬運機械手(真空)
                                 Substrate Size                Arm Model
                Wafer                200~300mm

UTV-R2700H 
UTV-RS2600W
UTVW-R2800H pdf


(有生産實際)

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