达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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UT-AFX3000NM
   詳細介紹
UT-AFX3000NMi特點 
1搭載電力線通信技術的標准機械手臂
2各個部件的模塊化,增加了選配便利性,縮短了交貨周期

   參數詳解 ※1

型號 Model  UT-AFX3000NM  UT-AFW3000NM
机械手臂形状 Robot Type  3-axis Cylindrical Coordinate  4-axis Cylindrical Coordinate

動作範圍

Operation Range

X1, X2-axis  500mm
θ-axis  340°
Z-axis  300mm or 450mm

最大動作速度

Max. Operation Speed

X1, X2-axis  1000mm/sec
θ-axis  200°/sec
Z-axis  250mm/sec
动作时间     
Cycle Time
X1, X2-axis
 1.0sec/500mm
θ-axis  2.2sec/340°
Z-axis  1.5sec/300mm, 2.1sec/450mm
往複位置精度 Repeatability

 XYZ方向:各±0.1mm

 XYZ direction ±0.1mm each 

可搬運重量 Payload  0.5kg/arm (含手爪 Including E/E)
潔淨度 Cleanliness  ISO Class 1 (ISO-14644)
本體重量 Mass  30kg  32kg
必要設施 Facilities

真空(吸付用)

Vacuum(for adsorption) 

 -80kPaG or less, 10NL/min

真空(機器內部排氣用)

Vacuum(for Purging)

 -80kPaG or less, 60NL/min
電源 Power  3-phase 200-230±10% VAC, 50/60Hz, 5A
設置環境 Environment 溫度 Temperature  5-45℃
濕度 Humidity  20-70% (无结露)(No condensation)
※1 追加選配的情況下,搬運性能與標准不一樣。

               晶圓搬運機械手(大氣)
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

(有生産實際)

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