㾫ܻе()޹˾
ͷᾀ0512-5229-1008
OFH-4102i
   ԔB
OFH-4102ic
1܉zyA،1.0mm0.2mmϵȱڡë
2「OFH-4102」Ŀx헣「Aȱڙzy」ܿ׷
3RoHsָҎ

   Ԕ 1

\w SEMIҎ׼ĎжλƽʯӢA
ʹҎ4568Ӣ羧A
Aóַ A
| wɫgX
B壺SUS
BASE:Aluminum(FTӣ
߅ȱ
z
Сzߴ ܉zyA،1.0mm0.2mmϵȱڡë
܉zyĹ A
zyrľA
ƫĵSֵ
돽7mmԃ
ƽ涨λУ׼rg
Ķλ
4.1sec
(zyrg
S XSǰSYSSSDS
XS 7.5mm
YS 65mm
S ENDLESS
λ XSYS 0.1mm
S 0.2
Ʒ “ͨţRS-232C)
K“ͨţпƣ
ISO Class3(ISO-14644)
w s8kg
ҪTԪ գGAUGE -80kPaһ
ԴDV24V3A
܇ 60%RH£oˮ
܇ض 1525

               A\Cе֣⣩
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

(bH)

DAIHENӰ,Ƭ,ɫƬ,ʽ Ȩ   䰸̖KICP13025737̖     չ 32058102001225