达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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UTC-R800
   詳細介紹
UTC-R800系列的特點
1舊MECS公司UTC-800的重現機型
2電力消費減少70%
3全新搭載示教器
   參數詳解 ※1

型號 Model  UTC-R800
机械手臂形状 Robot Type  3轴圆坐标型  3-axis Cylindrical Coordinate

動作範圍

Operation Range

X-axis  +220mm
θ-axis  360°
Z-axis  170mm

最大動作速度

Max. Operation Speed

X-axis  330mm/sec
θ-axis  210°/sec
Z-axis  70mm/sec
分解力        
Resolution
X-axis
 0.01mm/pulse or less
θ-axis  0.0091°/pulse
Z-axis  0.003mm/pulse
往複位置精度 Repeatability  XYZ方向:各±0.1mm
可搬運重量 Payload  0.2kg (含手爪   including E/E)
潔淨度 Cleanliness  ISO Class 3 (ISO-14644)
本體重量 Mass  15kg
必要設施 Facilities 真空 Vacuum  -80kPag or less, 10NL/min
電源 Power  100-115VAC (50/60kHz) 5A
設置環境 Environment 溫度 Temperature  0-40℃
濕度 Humidity  70% or less (No condensation)
※1 追加選配的情況下,搬運性能與標准不一樣。

               晶圓搬運機械手(大氣)
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

(有生産實際)

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