㾫ܻе()޹˾
ͷᾀ0512-5229-1008
OFH-4100
   ԔB
OFH-4100ϵеc
1ٹW׼ٶȡ
2ԌʯӢƬQģͣ
3RoHsָҎ
   Ԕ 1

Ƭߴ  2Ӣ磬3Ӣ磬100mm200mm300mm Si Wafer (SEMI standard)
λ  XY:0.1mm:0.2deg.
׼rg  1.8sec. ()
 ISO Class 3 (ISO-14644)
 8kg

2Ӣ磨50mm2.5sec.
               A\Cе֣⣩
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

(bH)

DAIHENӰ,Ƭ,ɫƬ,ʽ Ȩ   䰸̖KICP13025737̖     չ 32058102001225
Ӱ,Ƭ,ɫƬ,ʽ
XML ͼ