㾫ܻе()޹˾
ͷᾀ0512-5229-1008
EG-303
   ԔB
EG-303ϵеc
1 Χֵedge gripУ׼
2 ԌʯӢƬQģͣ
3 ͨ^_죬ʹdžֱҲɌF߮b
   Ԕ 1
 

Ƭߴ

300mm

λ

߾ʽ

XY0.05mmȣ0.075deg

׼ʽ

XY:0.2mm:0.1deg.

׼rg

߾ʽ

7.5sec.

׼ʽ

3.5sec.

ISO Class 3 (ISO-14644)

 7KG

               A\Cе֣⣩
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

(bH)

DAIHENӰ,Ƭ,ɫƬ,ʽ Ȩ   䰸̖KICP13025737̖     չ 32058102001225