{}
               A\Cе֣⣩
                                  Substrate Size               Arm Model                   Aligner Model          
                Wafer                 ~200mm UTC-R800pdf OFH-4102
                ~300mm

UT-AFX3000NMpdf
UTM-R3700F 

OFH-4100
EG-303 

{}
                A\Cе֣գ
                                 Substrate Size                Arm Model
                Wafer                200~300mm

UTV-R2700H 
UTV-RS2600W
UTVW-R2800H pdf


{}
                \Cе֣⣩
                ɰ                LCDߴ                Single Arm                Dual Arm
                3kg                G2SPR-902S                 
                5kg                G3/G4SPR-906S                 
                8kg
SPR-9519
                50kg                G5/G6                 SPR-9518
{}
\Cе֣գ
ɰ LCDߴ Single Arm Dual Arm
oZS ZS Link Slide
3kg G3SPR-801S SPR-804S    
10kg G4SPR-806S      
15kg G4.5SPR-811S SPR-8110 pdf    
50kg G5   SPR-8109 pdf SPR-8501S  
G6     SPR-8522 pdf  
70kg G6    SPR-8508  
100kg G7   SPR-8111 pdf    
150kg G6 SPR-8112 pdf  SPR-8504  
G6       SPR-8537 pdf
G7.5      SPR-8535
200kg G8.5       SPR-8534 pdf
300kg       SPR-8524 pdf
500kg G10        
DAIHENӰ,Ƭ,ɫƬ,ʽ Ȩ   䰸̖KICP13025737̖     չ 32058102001225